Description
控制负载的接触不能可靠动作，虽然PLC发出了动作指令，但执行机构并没按要求动作。
2．2．2控制变频器起动，由于变频器自身故障，变频器所带电机并没按要求工作。
2．2．3各种电动阀、电磁阀该开的没能打开，该关的没能关到位，由于执行机构没能按PLC的控制要求动作，使系统无法正常工作，降低了系统可靠性。
3．解决方案的实施：要提高整个控制系统的可靠性，必须提高输入信号的可靠性和执行机构动作的准确性，PLC才能及时c，用声光等报警办法提示给操作人员，尽快排除故障，让系统安全、可靠、正确地工作。
3．1 设计完善的故障报警系统
Leybold WA1000 Vacuum Pump
Cybor Photo Resist Pump Model 5116C w/ Filter System
Leybold 100E CVD DRY VAC Vacuum Pump
GE Parametric MIS Probe, SN 44921, NEVER USED
Accurate Gas Control Systems Chiller AGT354D
Applied Materials TXZ Drive Assy. 5000, 5200, 5500 CVD
Ebara Vacuum Pump Model 80X25 w small coolers and power
Puretec Manufacturing Vertical Quartz Storage Cabinet
Delta Design 1688 Device Kit 15mm BGA ***New in Box***
Alcatel ADS 830B Vacuum Pump
Alcatel BF ADP 81 Vacuum Pump
Alcatel B0036FGC2A2 Vacuum Pump
Comet CPU Printed Circuit Board 6AA0048
Fuji Seiki Ultra High Purity Electric Gate Valve
MODEL 1616810 ISO NW100
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