描述
控制功能
控制功能包括PID控制运算、前馈补偿控制运算、比值控制运算等，应根据控制要求确定。PLC主要用于顺序逻辑控制，因此，大多数场合常采用单回路或多回路控制器解决模拟量的控制，有时也采用专用的智能输入输出单元完成所需的控制功能，提高PLC的处理速度和节省存储器容量。例如采用PID控制单元、高速计数器、带速度补偿的模拟单元、ASC码转换单元等。
(三)通信功能
大中型PLC系统应支持多种现场总线和标准通信协议（如TCP/IP），需要时应能与工厂管理网（TCP/IP）相连接。通信协议应符合ISO/IEEE通信标准，应是开放的通信网络。
Leybold WS151 Vacuum Pump Blower
Tokyo Electron Cover Bellows A (DRM2) ***NEW***
Applied Materials LSI Slit Valve Liner P/N 0020-19003
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
Leybold Pump P/N 21945 Removed from Leybold Ultratest F
Leybold Pump P/N 590 29113 from Leybold Ultratest F
Millipore Waferpure Megaline Cat No. WPLV202SI
NGK Ultra High Purity Water Manifold Valve Model CB-573
IAS Integrated Air Systems Fan Filter Hepa Filter Unit
Nanometrics Power Distribution Assembly
Nanometrics High Resolution Video Amplifier w/ Monitor
Intermec 3400 Bar Code Label Printer
Aera FC-7800CU Mass Flow Controller MFC
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