描述
微传感器的特征之一是体积小，其敏感元件的尺寸一般为微米级。是由微机械加工技术制作而成的，包括光刻、腐蚀、淀积、键合和封装等工艺。利用其中的各向异性腐蚀、牺牲层技术LIGA工艺，可以制造出层与层间有很大差别的三维微结构。包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。这些微结构与特殊用途的薄膜和高性能的集成电路相结合，已成功地用于制造各种微传感器乃至多功能的敏感元件阵列(如光电探测器等)，实现了诸如压力、力、加速度、角速率、应力、应变、温度、流量、成像、磁场、湿度、PH值、气体成分、离子和分子浓度以及生物传感器等。
Mitsubishi Meldas T-4 Control FX42A Board
GE 2000 CNC General Electric 44A719248-001 DI02
GE 2000 CNC General Electric 44A719301-G02 RLV Board
Reliance 0-51377-31 Mother Board
HELLER NC 80 BOLZ 12V Power Supply EPQA11
Cincinnati CNC 950 MCPU 3-533-0342G Control Board
Cincinnati CNC 900 3-533-0441G DV2 Control Board
Mazak Mazatrol Cam T-4 CNC Meldas FX32B Board
GE 2000 General Electric A0324643 Board
MITSUBISHI FINE STOP FS-1500 Mazak Toyoda
Okuma ATC Display Panel E-0189-653-014
Okuma Display Panel E-0189-653-015 VMC
Mitsubishi Meldas FX04A Board
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