ZMI-4104 NIKON

1. 产品说明

• ZMI-4104 测量板：
  • ZMI-4104 是 Zygo 公司生产的一款高精度位移测量板，用于实现纳米级别的定位精度。
  • 该设备与尼康（Nikon）的某些半导体制造设备，尤其是步进重复式光刻系统（如 NSR FX-601F）配合使用。
  • 它利用 Zygo 激光干涉测量技术，通过分析干涉光信号来精确计算位移。
  • 该产品具备亚纳米级别的分辨率，适用于需要极高精度位置测量的工业应用。
  • ZMI4104测量板可以模块化添加到VME机箱中，支持扩展到多达64个测量轴。

2. 产品参数

• 类型： 位移测量板
• 分辨率： 亚纳米级
• 应用领域： 半导体制造设备
• 扩展性： 支持扩展至多达 64 个测量轴
• 板卡类型： 外壳6U VME 6U VME64x.

3. 优势和特点

• 高精度： 提供亚纳米级分辨率，满足极高精度位置测量的需求。
• 高可靠性： 专为工业应用设计，具有出色的稳定性和可靠性。
• 高扩展性： 支持模块化扩展，满足不同规模的应用需求。

4. 应用领域和应用案例

• 尼康步进重复式光刻系统（NSR FX-601F）中的高精度位置控制。
• 其他需要极高精度位置测量的工业自动化系统。