853-150806-001 LAM
产品说明
LAM 853-150806-001是一款用于干法刻蚀的蚀刻腔体部件。它由石英制成，具有以下特点：
耐腐蚀性好
高温稳定性好
透光性好
易于清洁
产品参数
材质：石英
尺寸：Φ150mm x 85mm
厚度：5mm
使用温度：≤1000℃
耐腐蚀性：可耐受各种常见的刻蚀介质
产品应用
LAM 853-150806-001蚀刻腔体部件主要用于半导体制造过程中的干法刻蚀，可用于刻蚀各种半导体材料，包括硅、锗、砷化镓等。
品牌介绍
LAM Research Corporation是全球领先的半导体设备供应商，成立于1980年，总部位于美国加利福尼亚州。LAM的产品和服务涵盖半导体制造的各个环节，包括沉积、蚀刻、离子注入、薄膜测量等，在全球拥有超过14,000名员工。
ASEA BROWN BOVERI DSQC-211 NSFP DSQC211
ASEA BROWN BOVERI 57520001-EV/9 USPP 57520001EV9
ASEA BROWN BOVERI YTE-102C USPP YTE102C
ASEA BROWN BOVERI 6214BZ10120G NSFP 6214BZ10120G
ASEA BROWN BOVERI YT213001-AA USPP YT213001AA
ASEA BROWN BOVERI YT213001-BA USPP YT213001BA
ASEA BROWN BOVERI YTE-102A USPP YTE102A
ASEA BROWN BOVERI YTE-102B USPP YTE102B
ASEA BROWN BOVERI EHN550C-1 NSFP EHN550C1
ASEA BROWN BOVERI R512H6B1N4NN1N NSPP R512H6B1N4NN1N
ASEA BROWN BOVERI GNT2009421R0001 NSFP GNT2009421R0001
ASEA BROWN BOVERI DSQC-211 NSPP DSQC211
ASEA BROWN BOVERI 57510001-AA/5 USPP 57510001AA5
ASEA BROWN BOVERI 3HAB2207-1 USPP 3HAB22071
ASEA BROWN BOVERI DSQC-236D USPP DSQC236D
ASEA BROWN BOVERI YPP-110A USPP YPP110A
ASEA BROWN BOVERI YPC111A USPP YPC111A
