IOM2-20G Alcatel-Lucent
DCS系统是随着现代大型工业生产自动化的不断兴起和过程控制要求的日益复杂应运而生的综合控制系统，它是计算机技术、系统控制技术、网络通讯技术和多媒体技术相结合的产物，可提供窗口友好的人机界面和强大的通讯功能。是完成过程控制、过程管理的现代化设备。使企业设备实现集中控制、自动控制以及实时监控设备的运行情况，减少企业人员配备，降低工人劳动强度。
DCS系统结构图
系统的主要技术概述
- 系统主要有现场控制站（I/O站）、数据通讯系统、人机接口单元（操作员站OPS、工程师站ENS）、机柜、电源等组成。系统具备开放的体系结构，可以提供多层开放数据接口。
- 硬件系统在恶劣的工业现场具有高度的可靠性、维修方便、工艺先进。底层汉化的软件平台具备强大的处理功能，并提供方便的组态复杂控制系统的能力与用户自主开发专用高级控制算法的支持能力；易于组态，易于使用。支持多种现场总线标准以便适应未来的扩充需要。
- 系统的设计采用合适的冗余配置和诊断至模件级的自诊断功能，具有高度的可靠性。系统内任一组件发生故障，均不会影响整个系统的工作。
- 系统的参数、报警、自诊断及其他管理功能高度集中在CRT上显示和在打印机上打印，控制系统在功能和物理上真正分散，
- 整个系统的可利用率至少为99.9％；系统平均无故障时间为10万小时，实现了核电、火电、热电、石化、、冶金、建材诸多领域的完整监控。
ASYST OFH3000-001 Prealigner OFH3000 Pre-aligner
JDS Uniphase 4×6 6×4 SG Matrix Fiber Optic Switch JDSU
VAT 14052-PE44-ACD1 Gate Valve 14″
Seiko TT8550 TT-8550 D-Tran Robot GOOD
AJA International 100/300 13.56 Mhz 300W RF generator
Seren Power Supply R301MKII P/N 9600730020 RF Generator
Osaka Vacuum TG550 TG-550 Compound Molecular Pump
JDS Uniphase 1×24 SB Fiber Optic Switch JDSU – GOOD
Genmark Automation S08R5GP Controller
Brooks PRI Equipe PRE-300B-U PRE-300BU Pre-aligner
Brooks PRI Equipe ABM-407B-1-S-CE-S293 Wafer Robot
Olympus BX-DUV-RLAA Microscope Assembly w/ U-D5BDREMC
ASYST 05050-014 Prealigner Pre-aligner
AE Advance Energy MDX 1.5K RF Generator 3152164-025 A
Kensington CCD Prealigner NEW S/N 98-493-05 Pre-aligner
Olympus U-URBC Vertical Illuminator w Fiber Guide Input
Kensington Labs 8500 Motorized Linear Stage (Newport)
Keithley 590 w/option 100KHz C-V Analyzer NICE
SVG 914252-002 912850-001 Cambridge Hi-Temp Belt
MECS UTW-3100P UTW-3000 CS-1000 Robot Controller
MECS UTW-3100P UTW3100P Wafer Handling Robot
Newport 300 mm 12 in Motorized Linear Stage TS300DC ESP
HP Agilent 16751A Logic Analyzer Module
AVT Oscar F-810C 8MPixel Color CCD camera
Olympus LMPlanApo 150x/0.90 BD inf/0 Objective *NICE*
Optimag Olympus EP004 Hi-resolution Camera
Olympus BX-DUV-TVV1.75 UV Microscope Shutter Assembly
