2.2.3来自PLC系统内部的干扰
主要由系统内部元器件及电路间的相互电磁辐射产生，如逻辑电路相互辐射及其对模拟电路的影响，模拟地与逻辑地的相互影响及元器件间的相互不匹配使用等。这都属于PLC制造厂对系统内部进行电磁兼容设计的内容，比较复杂，作为应用部门是无法改变，可不必过多考虑，但要选择具有较多应用实绩或经过考验的系统。
3 PLC控制系统工程应用的抗干扰设计
为了系统在工业电磁环境中免受或减少内外电磁干扰，必须从设计阶段开始便采取三个方面抑制措施：抑制干扰源；切断或衰减电磁干扰的传播途径；提高装置和系统的抗干扰能力。这三点就是抑制电磁干扰的基本原则。
PLC控制系统的抗干扰是一个系统工程，要求制造单位设计生产出具有较强抗干扰能力的产品，且有赖于使用部门在工程设计、安装施工和运行维护中予以全面考虑，并结合具有情况进行综合设计，才能系统的电磁兼容和运行可靠。进行具体工程的抗干扰设计时，应主要以下两个方面。
Zeiss Beleuchtung Starlith 400 ASML 4022.455.84291
SVG/ASML 923-8083-001 AS4020/ES14042-2 Aerotech
ASML Stepper Cabinet Power Supply 4022.436.5400
ASML STEPPER KNIEL POWER SUPPLY 4022.437.0060
LOT 2 SVG ASML 5.5″ CHUCK SPIN PEEK 59283-01 NEW SEALED
ASML SVG 90S Millipore Power Supply INGEN2PSI
ASML Mark III Particle Detector PPDAT-0321103-8
ASML STEPPER LAMP ASSEMBLY 4022.481.05766
Haake Chiller model C41 w N8 controller ASML stepper
