屏蔽层、接地线和大地有可能构成闭合环路，在变化磁场的作用下，屏蔽层内有会出现感应电流，通过屏蔽层与芯线之间的耦合，干扰信号回路。若系统地与其它接地处理混乱，所产生的地环流就可能在地线上产生不等电位分布，影响PLC内逻辑电路和模拟电路的正常工作。PLC工作的逻辑电压干扰容限较低，逻辑地电位的分布干扰容易影响PLC的逻辑运算和数据存贮，造成数据混乱、程序跑飞或死机。模拟地电位的分布将导致测量精度下降，引起对信号测控的严重失真和误动作。
2.2.3来自PLC系统内部的干扰
主要由系统内部元器件及电路间的相互电磁辐射产生，如逻辑电路相互辐射及其对模拟电路的影响，模拟地与逻辑地的相互影响及元器件间的相互不匹配使用等。这都属于PLC制造厂对系统内部进行电磁兼容设计的内容，比较复杂，作为应用部门是无法改变，可不必过多考虑，但要选择具有较多应用实绩或经过考验的系统。
3 PLC控制系统工程应用的抗干扰设计
为了保证系统在工业电磁环境中免受或减少内外电磁干扰，必须从设计阶段开始便采取三个方面抑制措施：抑制干扰源；切断或衰减电磁干扰的传播途径；提高装置和系统的抗干扰能力。这三点就是抑制电磁干扰的基本原则。
PLC控制系统的抗干扰是一个系统工程，要求制造单位设计生产出具有较强抗干扰能力的产品，且有赖于使用部门在工程设计、安装施工和运行维护中予以全面考虑，并结合具有情况进行综合设计，才能保证系统的电磁兼容和运行可靠。进行具体工程的抗干扰设计时，应主要以下两个方面。
在选择设备时，首先要选择有较高抗干扰能力的产品，其包括了电磁兼容（EMC），尤其是抗外部干扰能力，如采用浮地技术、隔离能好的PLC系统；其次还应了解生产厂给出的抗干扰指标，如共模拟制比、差模拟制比，耐压能力、允许在多大电场强度和多高频率的磁场强度环境中工作；另外是靠考查其在类似工作中的应用实绩。
在选择国外进口产品要注意：我国是采用220V高内阻电网制式，而欧美地区是110V低内阻电网。由于我国电网内阻大，零点电位漂移大，地电位变化大，工业企业现场的电磁干扰至少要比欧美地区高4倍以上，对系统抗干扰能要求更高，在国外能正常工作的PLC产品在国内工业就不一定能可靠运行，这就要在采用国外产品时，按我国的标准（GB/T13926）合理选择。
3.2综合抗干扰设计
主要考虑来自系统外部的几种如果抑制措施。主要内容包括：对PLC系统及外引线进行屏蔽以防空间辐射电磁干扰；对外引线进行隔离、滤波，特别是原理动力电缆，分层布置，以防通过外引线引入传导电磁干扰；正确设计接地点和接地装置，完善接地系统。另外还必须利用软件手段，进一步提高系统的安全可靠。
4主要抗干扰措施
4.1采用能优良的电源，抑制电网引入的干扰
AMAT PART # 0200-32985 GAS RING 12 HOLES
MKS ISOLATION VALVE MODEL # L2-40-AK-225-VNVNH
AMAT PART 0020-19002
LAM GATE HEAD IONIZED PART # 715-012233-003
VEXTA STEPPING MOTOR MODEL PX243-01B
LAM 6 ” SPIN CHUCK PART # 715-013718-006
AMAT PART # 0200-09086
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083
USHIO 100W Merqury Short Lamp
AMAT PART # 0020-21944 8″ QTZ PRECLEAN PLATE
CERAMIC LIFT PIN/SHORT PART # 0200-10162
796-00809 ANGLE VALVE REBUILD KIT
CONN ADPTR MTG QDS-UL(F)/QC(M) AMAT PART # 0020-04376
LIFT PIN, .090, SIMPLE CATH AMAT PART # 0021-10566
AMAT PART # 0200-35224 VIEWPORT WINDOW
AMAT PART # 0200-35160
FRAME ALIGNMENT PIN PART # 0020-27812
VACUUM SWITCH PART # 853-017631-001
TEFLON RING BLOCKER AMAT PART # 0021-38799
LOWER MAGNETIC BRACKET AMAT PART # 0021-36605
AMAT PART # 0200-35013
BRACKET COIL FRONT PART #0021-36606
JUMPER 4PIN CONN, GEN RACK EMO AMAT PART# 0150-20143
GASKET WINDOW AMAT PART # 0190-09061
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