MKS T3BIB-29916是MKS Instruments公司生产的高速排气节流阀，属于T3B系列产品。该产品集成了控制器，具有高精度、快速响应和灵活控制等特点，广泛应用于半导体制造、航空航天等领域。
产品参数
型号：T3BIB-29916
品牌：MKS Instruments
类型：高速排气节流阀
精度：设定值的0.25%或5mV（取较大值）
控制范围：0.0001%-100%满量程（双传感器输入）
工作温度：电机和电子元件：0至40°C；阀体：0至105°C，150°C（可选）
存储温度：-20至80°C
密封材料：Kalrez®，Chemraz®，可根据需求定制
电源要求：DeviceNet：11-25 VDC；阀门电源：24 VDC <100 W最大
阀门速度：高速、直接驱动、无密封：<0.2秒（仅适用于4英寸及以下尺寸）；标准速度、齿轮驱动或F型密封：<0.5-1.0秒（取决于尺寸）
输入输出信号：模拟I/O：压力输入（双通道）-标称±10 VDC、±5 VDC和±1 VDC可选；离散I/O：报警触发点输出-（2）继电器 2.0A 30 VDC，带状态LED
连接器：15针母型D型，每个通道（模拟）
开关：阀门打开和阀门关闭
认证：CE
产品应用
半导体制造：用于控制工艺腔室的真空度和气体流量。
航空航天：用于控制火箭发动机测试台的真空度和气体流量。
其他工业领域：用于需要精确控制气体流量和压力的场合。
品牌介绍-MKS Instruments
MKS Instruments是一家全球领先的技术公司，专注于为半导体制造、先进电子器件和特种工业应用提供先进技术解决方案。MKS的产品包括质量流量控制器、压力控制器、真空泵、气体分析仪等，广泛应用于半导体制造、航空航天、医疗等领域。
产品优势
高精度：控制精度高，能够满足苛刻的工艺要求。
快速响应：响应速度快，适用于动态过程控制。
灵活配置：可根据不同应用需求进行灵活配置。
可靠性高：采用高质量组件，确保长期稳定运行。
WESTINGHOUSE 149D930G01 USPP 149D930G01
SIEMENS 6SE9-521-8CC40 NSFP 6SE95218CC40
SQUARE D PHF2036 NSPP PHF2036
ASEA BROWN BOVERI 52700141 NSFP 52700141
MITSUBISHI HALP15K24BK NSFP HALP15K24BK
SIEMENS 6ES7-414-2XJ01-0AB0 USPP 6ES74142XJ010AB0
STAEFA CONTROL SYS 549-407 USPP 549407
SIEMENS 6XV18206BT65 NSFP 6XV18206BT65
FANUC A06B-0725-B102 USPP A06B0725B102
ALLEN BRADLEY 1785-L26B NSFP 1785L26B
FANUC A02B-0058-B501 USPP A02B0058B501
