0190-30354 AMAT
产品概述
AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber是一款用于半导体制造的紫外光刻曝光系统。该系统采用高功率汞灯产生深紫外光，用于将光刻胶图案曝光到晶圆上。该系统具有高精度、高可靠性和高通量等特点，可满足各种半导体制造工艺的需求。
产品参数
光源：高功率汞灯
波长：254 nm
曝光面积：最大200 mm x 200 mm
分辨率：小于1微米
通量：>100 W/cm²
工作温度：0°C至50°C
湿度：5%至95%(非冷凝)
尺寸：1200 mm x 1000 mm x 800 mm
重量：500 kg
产品应用
AMAT 0190-30354 Producer GT UV Chamber适用于各种半导体制造工艺，包括：
光刻
薄膜沉积
蚀刻
扩散
金属化
品牌介绍
Applied Materials(AMAT)是一家全球领先的半导体材料和设备制造商。AMAT的产品和服务用于制造各种半导体器件，包括集成电路、微处理器和存储器。AMAT的产品和服务遍及全球各地的半导体制造工厂。
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HONEYWELL TC-IXL061 USPP TCIXL061
HONEYWELL TC-IAH161 USPP TCIAH161
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