超强的冗余功能，冗余与热备这是两种完全不同的技术，很多厂商完全混淆这两种概念误导客户，大多数冗余的故障切换时间都在uS级，这是严格的无缝切换，而热备则带有很多的软件特征，切换慢一点的如某公司的400系列某型大型PLC，需要数分钟之久。同时冗余也还有双通过双口RAM和通过串行通信等数种不同的实现方式，这里面带有着相当大的成本和能不同，用户在选取时需要认真调研。
每一个DPU内均有一块实时数据库，实时数据库按站数和内外分成多块，每个站都用广播方式将自己的变量全量发送出去，同时每个站都会接收和更新其它站广播过来的全局变量，这样使每个站都可以实时的得到其它站的数据，从而使DCS可以很好的控制一个大系统。
DCS的控制器和HMI（人机界面）通常是合二为一的，这也比较适合大型过程控制的室，这使DCS更显示出浓厚的PC根源。
ASML/SVG Perkin Elmer Board P/N: 851-8956-001
ASML/SVG PC Board Part Number: 859-0742-007
ASML/SVG Perkin-Elmer Board P/N: 851-9993-002
ASML/SVG Copley Controls Model 503 P/N:854-8052-001
ASML 4022.471.7312 PAAC 400/16 Power Supply module SVG
ASML/SVG 4 Ch Focus Cap Gauge Board P/N: 854-8054-003
ASML/SVG DMC Booster Amplifier Part P/N: 851-9947-004
ASML/SVG Cap Gauge ASP Board P/N:854-8145-003
