Description
微机电系统（MEM）
MEMS是国际公认的一项战略高科技，是未来先进制造发展的主导技术之一，并在医疗保健、生物基因、IT消费电子、环保监测、军事武器等器件及微系统应用方面具有广阔的应用前景。例如，作为信息获取关键的多种传感MEMS已成功地应用于汽车、电子等行业和军事领域；在令人瞩目的信息科学和生命科学的发展中，光MEMS被认为是开启全光通信之门的金钥匙；高密度MEM生物芯片将强有力地推动生命科学和生物技术的发展。
近几年，采用MEMS技术的微型卫星、微型飞行器和进人狭窄空间的微型机器人，也展示了诱人的应用前景。现在MEMS已形成年产值14O亿美元的规模，预计5年后将达到300多亿美元的规模。
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