高速化所谓高速化应该包括：运算速度的高速化；与外部设备的数据交换速度高速化，如I/O刷新和网络刷新等；编程设备服务处理的高速化；外部设备的高速响应。
运算速度高速化也是PLC系统追求的一个重要目标。由于目前PLC的模块竞相采用32位RISC芯片，运算速度大为提高。一般基本指令的执行速度均达到数十个纳秒（ns），如三菱电机的Q02H其输入指令的执行时间为34ns，富士电机MICREX-SX系列SPH300达20ns，横河电机的FA-M3系列的F3SP59-7S其输入指令的执行时间为17.5ns。仅看一种指令的执行时间并不能完整地说明问题。电机工业会（电机工业的行业协会）JEMA一直倡导用PCmix值（即PLC的处理时间能表示指标，用1微秒执行的基本指令和数据处理指令的平均次数来表示）来衡量PLC的运算速度。所谓1微秒执行的基本指令和数据处理指令的平均次数，是按PLC应用程序所使用的指令的频繁程度的统计平均值计算的。一般是基本指令占54%(其中输入指令占17%，输出指令13%，逻辑运算指令21%，定时器输出3%)，数据处理指令占39%（其中传送指令占25%，四则函数运算指令，比较指令6%），其它指令7%。仍以三菱电机的小Q系列为例，其中的Q25H的PCmix值是10.3，比A2UH-S1快5倍（为2.0），比A2SH快20倍多(PCmix值为0.5)。随着PLC的功能扩展，运算指令、文字处理指令、通信指令等用的越来越多，各种指令的使用频率也会发生一定的变化，PCmix值的计算也会有所变化。这里顺便提一下，之所以要多次举三菱电机为例，是因为它的PLC的市场份额占的50%以上，为的大PLC供应厂商，因而具有相当的典型。同时，通过软件技术提升PLC专用操作系统的水平，实现了事件中断的高速响应（200微秒）功能，高速计数功能，0.5毫秒（三菱电机的小Q系列PLC）、甚至0.2毫秒（横河电机的的FA-M3系列PLC）的恒定扫描时间功能
与外部设备的数据交换速度高速化。PLC的模块通过系统总线（一般做在基板的印刷电路上）与装插在基板上的各种I/O模块、特殊功能模块、通信模块等交换数据，装插的模块越多，模块与那些模块之间的数据交换的时间就会增加。这种数据交换的时间的增加，在一定程度上会使PLC的扫描时间加长。因此，有必要采取以下措施使系统总线传输速度高速化：增加系统总线的带宽使一次传输的数据量增多，例如三菱电机的小Q系列PLC，增加了系统总线的带宽，使所传输的数据量是以前的2倍；在系统总线存取的方式上，采用连续成组传送技术实现连续数据的高速批量传送，大大缩短了存取每个字所需的时间；通过向与系统总线相连接的模块实现全局传送，即针对多个模块同时传送同一数据，有效地用活了系统总线。
Seiko Seiki STP-301CB1 Turbo Pump & SCU-21D controller
ADVANCED ENERGY RFG-1250 HALO
DPS II RF Source Matching Network (0190-15168)
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE PDW 2200 LAM 660-015516-014
COMDEL CPS1001S 13.56mhz RF GENERATOR P/N 0190-70099
COMDEL CLX-2500 RF GENERATOR
COMDEL CLX2500 RF GENERATOR PART # FP1335R4
ADVANCED ENERGY PDW 2200 AE 3156011 Lam 853-015516-002
COMDEL CX1250S RF POWER SUPPLY
COMDEL CPS-500AS RF POWER SOURCE AMAT P/N 0190-13320
AMAT PART # 0200-20060 INSULATING QUARTZ 6″ SMF PC11
THERMCO PCB ASSEMBLY PART # 110568-005 Z-80 PROCESSOR
NOVELLUS NICKEL SPINDLE SHAFT
AMAT PART # 0200-35145 ADAPTER WINDOW 2mm RP CHAMBER
ADVANCED ENERGY PDX 500 RF GENERATOR
LAM PART # 770-008341-002 PNEUMATIC CYLINDER
AMAT PART #0200-20074 DOOR PRECLEAN CHAMBER QUARTZ
AMAT PART # 0020-24435 INSULATOR QUARTZ 8″
PARKER THREE WAY VALVE MODEL # 955Y3NC
THREE WAY VALVE AMAT PART # 3870-02221
NOVELLUS ANALOG INPUT PCB SLOT 6 PART # 19-00126-00
AMAT PART # 0200-35539 200mm BLADE ROBOT QTZ w/RADIUS
AMAT ENDURA COVER RING PART # 0020-24804
CENTURA SLIT VALVE DOOR PART # 0021-09922
AMAT PART # 0200-10455
NOVELLUS THERMOCOUPLE UNIT PART # 03-10411-00
LAM ESC POWER SUPPLY DISTR. PCB PART # 810-370141-001
AMAT PART #0020-29343 DARK SPACE SHIELD CLAMP
AMAT PORT SERVER CABLE PART # 0140-77615
AMAT PART # 0200-76019 10N SHIELD LIFT
